A series of modeling of plasma etching and damage reduction: Vertically integrated computer aided design for device processing

Toshiaki Makabe, Jun Matsui, Kazunobu Maeshige

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A series of modeling of plasma etching and damage reduction: Vertically integrated computer aided design for device processing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Material Science