Anomalous electron mobility in Extremely-Thin SOI (ETSOI) diffusion layers with SOI thickness of less than 10 nm and high doping concentration of greater than 1×1018cm-3

Naotoshi Kadotani, Tsunaki Takahashi, Kunro Chen, Tetsuo Kodera, Shunri Oda, Ken Uchida

研究成果: Conference contribution

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Anomalous electron mobility in Extremely-Thin SOI (ETSOI) diffusion layers with SOI thickness of less than 10 nm and high doping concentration of greater than 1×1018cm-3」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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