Complete restoration of the subsurface damages in single-crystalline silicon by laser irradiation

Jiwang Yan, Tooru Asami, Tsunemoto Kuriyagawa

研究成果: Paper査読

フィンガープリント

「Complete restoration of the subsurface damages in single-crystalline silicon by laser irradiation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Keyphrases

Engineering