Detecting Submicron-Scale Continuous Variation in Phase of AC Magnetic Field Around Micro-Circuit with Diamond Quantum Sensor

Fuki Otsubo, Takumi Mikawa, Yuichiro Matsuzaki, Norio Tokuda, Norikazu Mizuochi, Junko Ishi-Hayase

研究成果: Conference contribution

抄録

Magnetic field distribution is significant information for LSI failure analysis. In this study, we detected continuous change in phase of AC magnetic field as well as amplitude utilizing RF -dressed states of electron spins in diamond.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル16th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO-PR 2024
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ISBN（電子版）9798350372076
DOI
出版ステータスPublished - 2024
イベント16th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO-PR 2024 - Incheon, Korea, Republic of
継続期間: 2024 8月 4 → 2024 8月 9

出版物シリーズ

名前16th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO-PR 2024

Conference

Conference16th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO-PR 2024
国/地域Korea, Republic of
CityIncheon
Period24/8/4 → 24/8/9

ASJC Scopus subject areas

  • 器械工学
  • 原子分子物理学および光学

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