Effects of deep subsurface damages on surface nanostructure formation in laser recovery of grinded single-crystal silicon wafers

Keiichiro Niitsu, Jiwang Yan

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Effects of deep subsurface damages on surface nanostructure formation in laser recovery of grinded single-crystal silicon wafers」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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