Effects of substrate temperature on physical properties of amorphous carbon film synthesized under atmospheric pressure

Takayuki Sakata, Hideyuki Kodama, Hidetaka Hayashi, Toshihisa Shimo, Tetsuya Suzuki

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Effects of substrate temperature on physical properties of amorphous carbon film synthesized under atmospheric pressure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Keyphrases

Engineering

Material Science