Electron beam nanoprocessing of a carbon nanotube film using a variable pressure scanning electron microscope

Jun Ichi Niitsuma, Takashi Sekiguchi, Xiao Li Yuan, Yuji Awano

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抄録

We demonstrate a novel method of processing carbon nanotubes using a variable pressure scanning electron microscope. Lines were processed in a nanotube film by electron beam irradiation in oxygen gas and nitrogen gas. The processing mechanism can be explained in terms of gas ion sputtering and chemical reaction. In this experiment, the narrowest line width of 120 nm was achieved in a nitrogen atmosphere.

本文言語English
ページ(範囲)2356-2360
ページ数5
ジャーナルJournal of Nanoscience and Nanotechnology
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DOI
出版ステータスPublished - 2007 7月
外部発表はい

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「Electron beam nanoprocessing of a carbon nanotube film using a variable pressure scanning electron microscope」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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