Estimation and correction procedure for the effects of surface roughness on electron probe microanalysis

Akimasa Yamada, Paul J. Fons, Keiichiro Sakurai, Koji Matsubara, Kakuya Iwata, Shigeru Niki

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抄録

The magnitude of surface roughness effects on electron probe microanalysis (EPMA) has been theoretically calculated through geometrical considerations. The fact that estimated values match experimental data well suggests possible corrections for the data obtained from rough surfaces.

本文言語English
ページ(範囲)5811-5812
ページ数2
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers
42
9 A
DOI
出版ステータスPublished - 2003 9月
外部発表はい

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