Fabrication of Ge MOS with low interface trap density by ALD of Al2O3 on epitaxially grown Ge

Ryotaro Matsuoka, Eriko Shigesawa, Satoru Miyamoto, Kentarou Sawano, Kohei M. Itoh

研究成果: Article査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fabrication of Ge MOS with low interface trap density by ALD of Al2O3 on epitaxially grown Ge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Keyphrases

Material Science

Engineering