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Numerical analysis of ion dynamics in RF ICP discharge
K. Nishida, S. Mattei, W. Kobayashi, J. Lettry, A. Hatayama
物理情報工学科
研究成果
:
Conference contribution
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Numerical analysis of ion dynamics in RF ICP discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Keyphrases
Numerical Analysis
100%
Ion Dynamics
100%
Radio Frequency Inductively Coupled Plasma
100%
Inductively Coupled Plasma Discharge
100%
Numerical Model
50%
Discharge Mode Transition
50%
Spatiotemporal Behavior
25%
Particle-based
25%
Distinctive Features
25%
Engineering
Radio Frequency
100%
Inductively Coupled Plasma
100%
Numerical Model
50%
Discharge Mode
50%
Physics
Plasma Jet
100%
Numerical Model
100%