Numerical simulation of the discharge in d.c. magnetron sputtering

Eiji Shidoji, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe

研究成果: Conference article査読

26 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Numerical simulation of the discharge in d.c. magnetron sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds

Physics & Astronomy