O2 rf discharge structure in parallel plates reactor at 13.56 MHz for material processing

Mari Shibata, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「O2 rf discharge structure in parallel plates reactor at 13.56 MHz for material processing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Physics