Prediction of a radial variation of plasma structure and ion distributions in the wafer interface in two-frequency capacitively coupled plasma

Takashi Yagisawa, Kazunobu Maeshige, Takashi Shimada, Toshiaki Makabe

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フィンガープリント

「Prediction of a radial variation of plasma structure and ion distributions in the wafer interface in two-frequency capacitively coupled plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy