Property of plasma-polymerized fluorocarbon film in relation to CH4/C4F8 ratio and substrate temperature

Yoshinori Matsumoto, Makoto Ishida

研究成果: Conference article査読

60 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Property of plasma-polymerized fluorocarbon film in relation to CH4/C4F8 ratio and substrate temperature」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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