Quad-axial piezoresistive force sensor probe by four sensing elements with sidewall doping method

H. Takahashi, S. Hirakawa, T. Takahata, K. Matsumoto, I. Shimoyama

研究成果: Conference contribution

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Quad-axial piezoresistive force sensor probe by four sensing elements with sidewall doping method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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