Research on the effects of machining-induced subsurface damages on mono-crystalline silicon via molecular dynamics simulation

Hongwei Zhao, Chengli Shi, Peng Zhang, Lin Zhang, Hu Huang, Jiwang Yan

研究成果: Article査読

62 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Research on the effects of machining-induced subsurface damages on mono-crystalline silicon via molecular dynamics simulation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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