Two-dimensional modeling of a microcell plasma in a mixture of Ne/Xe driven by a capacitively coupled high-frequency source

Masaru Kurihara, Toshiaki Makabe

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フィンガープリント

「Two-dimensional modeling of a microcell plasma in a mixture of Ne/Xe driven by a capacitively coupled high-frequency source」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Keyphrases

Engineering